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晶盛机电(300316.SZ)：8英寸单片式碳化硅外延开拓可兼容6、8寸碳化硅外延出产

发布日期：2024-03-03 08:41    点击次数：202

开端：格隆汇

格隆汇7月12日丨晶盛机电(300316.SZ)于2023年7月11日-12日继承机构调研，相易措施中，就“辅导公司8英寸碳化硅外延开拓是否大致兼容6英寸碳化硅外延出产？”

公司复兴称，8英寸单片式碳化硅外延开拓可兼容6、8寸碳化硅外延出产，在6英寸外延开拓原有的温度高精度闭环结果、工艺气体精确分流结果等时刻基础上，惩办了腔体打算中的温场均匀性、流场均匀性等结果贫苦，罢了了老到稳固的8英寸碳化硅外延工艺。

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