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晶盛机电(300316.SZ)：8英寸单片式碳化硅外延建造可兼容6、8寸碳化硅外延坐褥

发布日期：2024-03-03 10:14    点击次数：170

开始：格隆汇

格隆汇7月12日丨晶盛机电(300316.SZ)于2023年7月11日-12日剿袭机构调研，同样智力中，就“请教公司8英寸碳化硅外延建造是否粗俗兼容6英寸碳化硅外延坐褥？”

公司复兴称，8英寸单片式碳化硅外延建造可兼容6、8寸碳化硅外延坐褥，在6英寸外延建造原有的温度高精度闭环放胆、工艺气体精确分放逐胆等本领基础上，管制了腔体缱绻中的温场均匀性、流场均匀性等放胆辛苦，完竣了训练寂静的8英寸碳化硅外延工艺。

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